以集中化凈化空調系統，在整體屋子里導致具備相同潔凈度環境的凈化處理方法，叫全室凈化。它是潔凈技術應用中最早發展起來的1種方式，因而今天也仍然被采用。這一種方式適用于工藝設備高大，總數許多，且室內要求相同潔凈度的場地。但是這一種方式投入大、運作管理復雜、建設周期長。

 

　　以凈化空調器或局部凈化設備(如潔凈工作臺、棚式垂直層流單元、層流罩等)，在通常空調環境中導致局部地區具備一定潔凈度等級環境的凈化處理方法叫局部凈化。這一種方式適用于制造批量較小或利用原來車間做好技術改造的場地。現階段，運用最普遍的是全室凈化與局部凈化相結合的凈化處理方法，它是潔凈技術應用發展中產生的凈化方式，它既能確保室內具備一定潔凈度，又能在局部地區實現高潔凈度環境，進而做到既滿足制造對高潔凈度環境的要求，又節約能源的多重目的。比如，需要100級潔凈度的操作工段，當制造批量較小時，只需在潔凈度較低的亂流潔凈室內，利用潔凈工作臺或層流罩等局部凈化設備，就能實現全室凈化與局部凈化相結合的凈化方式。

 

　　以兩條層流工藝區和中間的亂流操作活動區構成隧道形潔凈環境的凈化處理方法叫潔凈隧道。它是全室凈化與局部凈化相結合的典型，是現階段推廣采用的凈化方式，也被稱作第三代凈化方式。

　　按照構成潔凈隧道的設備差異，潔凈隧道可分成下列幾種形式。

　　1、臺式潔凈隧道

　　這一種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺相連接在一起，并取消中間的側壁，構成制造需要的隧道型加工線。當工藝要求垂直層流時，可采用垂直層流工作臺。當工藝要求水平層流時，則采用水平層流工作臺。這一種凈化方式較全室凈化更易確保局部空間的高潔凈度，并鑒于工作臺相連接，能夠降低或避免交叉污染。除此之外，對建筑的要求較為簡單，只要求具備亂流潔凈室的環境就可以。其弊端是潔凈工作臺的規格固定，使操作面缺少充足的靈活性，工藝設備務必適應工作臺的規格，調節起來也并不大便利。

　　2、棚式潔凈隧道

　　這一種形式的潔凈隧道是將潔凈棚，即棚式垂直層流單元串連在一條生產流水線所構成的。根據工藝要求，潔凈棚的總面積能夠變動，空氣能夠全部為室內循環式，也可連接集中式凈化空調系統，吸收部分新風。棚式潔凈隧道適用于工藝設備較大的場地。

　　3、罩式潔凈隧道

　　這一種形式的潔凈隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串連在一條生產流水線所構成的。鑒于層流罩的進深比潔凈棚小，只適用于工藝設備較小的場地。空氣循環方式與棚式潔凈隧道和臺式潔凈隧道相同，是現階段采用較多的1種潔凈隧道。

　　4、集中化送風式潔凈隧道

　　這一種形式的潔凈隧道是由集中式送風系統的滿布高效過濾器的靜壓箱所構成的。層流工作區的寬可按照工藝提出的要求確認，而不像臺式、棚式和罩式潔凈隧道那樣，因局部凈化設備的規格而限制層流工作區的寬，設計能夠更加靈活。采用這一種形式時，回風能夠通過技術應用夾道，也可像圖那樣，在亂流操作活動區設置地溝。除此之外，工業管道可布置在工作區的沿壁板一側，排風管接至地溝。

　　潔凈隧道的特點如下：

　　（1）在隧道內導致差異的潔凈度，進而充分運用了差異潔凈氣流的特質，最大限度地滿足工藝要求。通常情況下，隧道內的兩側是高潔凈度的層流工作區，中間是亂流的操作活動區。工藝區連成一條線，使用方便，成員的活動也不會造成交叉污染。

　　（2）鑒于在隧道內降低了層流總面積，基建花費和運作花費要比全室凈化的垂直層流潔凈室節省3分之一之上。亂流活動操作區的凈高較層流工藝區高得多，能滿足成員舒適度的要求。

　　（3）技術應用夾道既可做為回風道，又可布置各種工業管道，安裝工藝輔助設備。構成潔凈隧道的局部凈化設備(潔凈工作臺、潔凈棚和層流罩等)、工業管道以及工藝輔助設備的維修均可在技術應用夾道內做好。鑒于技術應用夾道相對于潔凈隧道為負壓，因而，維修工作不會造成潔凈隧道的污染，維修工作可在不關閉工藝制造的情況下做好。

　　潔凈隧道所需的局部凈化設備、頂棚、壁板、回風口及門窗等構件，能夠標準化、模數化，由專業工廠加工制造，在現場加工。同時，潔凈隧道能夠迅速拆裝，重新組合，為工藝變動提供了便利。

　　（4）潔凈隧道能夠按一定規模配置凈化空調系統，因而空調系統可通用化、系列化，進而能夠大大縮短設計周期。

　　（5）通常情況下，潔凈隧道對于建筑方面的要求較為簡單，只需具備亂流潔凈室的環境，就可以符合要求。

 

　　把需要超高潔凈度等級(如1級或10級)的工藝加工線，放在與室內空氣環境隔絕的管道中的凈化處理方法，叫潔凈管道。這一種方式要求工藝制造務必是自動化的，高效過濾器務必是以0．1μm塵粒為標準的才可以實現超高潔凈度。除此之外，這一種方式鑒于被凈化的是管道中的空氣，送、回風量很小，能夠大幅度地節省能量，是潔凈技術應用的發展趨勢，也被稱作第四代凈化方式。

　　以上介紹的凈化處理方案需要根據實際情況確認。

　　現階段技術應用上發展已經比較成熟的是全室凈化、局部凈化(包括全室凈化和局部凈化相結合)以及潔凈隧道三種凈化處理方法，工程設計中應融合實際情況選擇其中1種或二種凈化方式做為設計方案。

　　在滿足工藝要求的條件下，應盡量采用局部凈化方式。局部凈化采用局部凈化設備，在通常空調環境中實現。鑒于局部凈化設備通常均由專業工廠制造，設備質量高，又可加速現場施工速率，在改造工程中能夠優先考慮這一種方案。

　　當僅用局部凈化方式無法滿足工藝要求時，可采用局部凈化與全室凈化相結合的凈化方式做為設計方案。

　　當以上所述凈化方式均無法滿足工藝要求時，才采用全室凈化的凈化方式做為設計方案。鑒于這一種方式要導致全室具備相同的潔凈度，特別是潔凈度等級高時，初投入和運作花費都很高，因而，潔凈室的總面積應嚴格要求加以控制。